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국부 환경제어 SYSTEM
신뢰있는 제품과 품질로 노력하겠습니다.  


제품명 국부 환경제어 SYSTEM



Private environment control SYSTEM
Used to procedure when private environment control is needed during semiconductor, display
procedure (Temperature, fine dust, small amount of gas)
  . Additional installation area is not needed (mountable)
  . Temperature control by flow control
ITEM Specification Remark
Control Temperature Control
Range
SV ±0.3℃ -
Control System Proportional
Control Valve
DC24V, Cooling
Heat source :
 18℃ Refrigerant
Clean Room CLASS1 @ 0.12um
Alarm DPS(Differential
Pressure Switch)
0~ 120Pa FAN ALARM
LEAK Photo Sensor Leak Sensing
Temperature Temperature High
and Low Limitation
-
Material Frame SUS 304 -
Cooling Coil SUS304 +CU FIN -



반도체 , DISPLAY 공정중 국부환경제어가 필요한 설비에 적용 ( 온도, 미세먼지, 미량가스등)
  . 별도의 설치 공간 불필요 (탑재식)
  . 유량제어를 통한 온도제어
ITEM Specification Remark
Control 온도 제 어 도 SV ±0.3℃ -
제어방식 비례제어밸브 DC24V, 냉각열원 :
 18℃ 냉각수
Clean Room CLASS1 @ 0.12um
Alarm DPS(차압스위치) 0~ 120Pa FAN ALARM
LEAK Photo Sensor Leak Sensing
Temperature 온도 상·하한 -
재  질 외  관 SUS 304 -
Cooling Coil SUS304 +CU FIN -
 





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