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사업분야

THC

SPEC

  • • 제어범위T: 21~25 ℃ , H: 42~48%
  • • 제어도SV±0.05℃, SV ±0. 5%

FEATURE

  • • 에너지 절감기술 적용
  • • 초정밀 온습도 및 항온수 공급
  • • 최적화 설계

APPLICATION

  • • 반도체 PHOTO TRACK 설비
  • • 반도체, 디스플레이 등
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